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帖子主题:Pb-Ag微芯片型氢气传感器的研究和应用 |
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【关键词】氢气传感器,,光刻技术,,真空溅射镀膜,,灵敏度,,
【摘要】本文采用Pd-Ag合金体系作为氢气敏感材料,通过光刻,真空溅射镀膜和真空电子束蒸发镀膜等微加工方法制作Pd-Ag微芯片型氢气传感器.通过性能测试说明该微芯片型氢气传感器与平面薄膜式氢气传感器相比较具有良好的选择性,较强的灵敏度和较短的响应时间.
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